為了提高細孔加工的精度，有時(shí)需要采用一些輔助的工藝工序和工藝措施，具體如下：

(1)在工件的表面施加一個(gè)正向壓力，或是在工件的反面裝一個(gè)低壓倉，可有助于打孔過(guò)程中清除汽化材料并增加液相的排出。

(2)在工件下面的安全位置裝一個(gè)光電探測器，可以及時(shí)探測到工件穿透與否。

(3)利用液體薄膜或金屬鉑覆蓋工件，能夠使孔的錐度減小，并防止液相飛濺。

(4)為了及時(shí)防止熔化物積聚在孔里，可以把汽化溫度低于被加工材料熔化溫度的物質(zhì)放到被加工工件的后面。

(5)利用激光作為加工工具在工件上打毛孔，再用其它方法達到所需要的精度。目前一般采用的有金剛砂的機械加工，用沖頭、金屬絲進(jìn)行孔徑精加工，化學(xué)腐蝕方法等等。